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招标项目编号：0729-254OIT301685
项目名称：中国科学院上海技术物理研究所低温超深宽比反应离子刻蚀系统采购项目
项目名称（英文）：Low temperature ultra aspect ratio reactive ion etching system procurement project of Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences
招标人：中国科学院上海技术物理研究所
招标机构：东方国际招标有限责任公司
招标方式：公开招标
招标结果：重新招标