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项目名称：北京怀柔实验室SOC 2025年第二批机电设备采购项目
招标项目编号：1495-254thhrlab03
招标范围：磁控溅射仪作为核心工艺装备，将支撑超顺磁TMR材料的关键功能层制备与膜堆结构调控，需具备单溅射腔多靶位高精度切换能力（≥12个靶位）、优异的膜厚均匀性（≤1%，1sigma）、超高薄膜沉积精度（0.01nm），优于10-8 Torr的极限真空度、稳定的射频与直流溅射源、可控的成分调配系统以及低粒子污染的沉积环境，以实现膜层结构的高一致性与批次重复性，为高精度传感芯片的大规模开发和薄膜工艺优化提供坚实支撑。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2025-10-11 09:30
公示时间：2025-10-13 11:48 - 2025-10-16 17:00
中标结果公告时间：2025-10-17 15:27
中标人：德国新格拉斯科技集团
制造商：SINGULUS TECHNOLOGIES AG
制造商国家或地区：德国