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项目名称：LPCVD
招标项目编号：2947-264hs2026g02
招标范围：LPCVD 1套 （含LPCVD主设备一套，包含三套水平炉管，1管可用来生长低应力氮化硅、1管可用来生长TEOS氧化硅，1管可用来生长多晶硅，具体指标详见技术规格）
招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司
招标人：乾元国家实验室
开标时间：2026-06-09 09:30
公示时间：2026-06-12 13:00 - 2026-06-17 23:59
中标结果公告时间：2026-08-20 17:19
中标人：上海中新晶科仪器有限公司
制造商：北京北方华创真空技术有限公司
制造商国家或地区：中国