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项目名称：ICP干法刻蚀机（第二次）
招标项目编号：2947-264hs2026g06
招标范围：ICP干法刻蚀机 1套 （含ICP干法刻蚀机配置传送模块、去胶腔、金属刻蚀腔、气源柜、分子泵、干泵、电控系统等1套，具体指标详见技术规格）
招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司
招标人：乾元国家实验室
开标时间：2026-07-01 09:30
公示时间：2026-07-07 15:30 - 2026-07-10 23:59
中标结果公告时间：2026-08-20 17:13
中标人：上海盈垒信息科技有限公司
制造商：松下互联株式会社
制造商国家或地区：日本